高解析場發射掃描式電子顯微鏡 - 國立成功大學

本儀器由掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)與聚焦式離子束顯微鏡(FIB)及能量分散式光譜分析儀(EDS)所組成。

www.ncku.edu.tw