高立出版集團 -- 微機電系統原理與應用(Liu：Foundations of MEMS)

第六章 壓阻式 感測器 第七章 壓電感測與致動原理 第八章 磁性致動器 第九章 感測器和致動器的總結 ... 械加工以及矽之非等向性蝕刻 第十一章 面型微加工技術 第十二章 高分子聚合物材料的微機電 ...

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