高科技設備業新亮點--艾斯摩爾(ASML) -- 工研院電子報第10112期

2012年12月20日 ... 艾司摩爾採取了專業分工的方式，首先將曝光設備模組化，將整個系統分成平台、機 台、光學 ... 浸潤式曝光機台，是DRAM廠推進新技術成本最高的設備，一台浸潤式 曝光設備就要價近15 ... 7, Nikon Corporation(JP), 1,517, 1,646, 8%.

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