高科技產業概況 – 微機電產業分析與介紹

... 是目前科技界公認最具未來發展 潛力及前瞻性的研究領域 二、微機電系統產業概況 何謂微機電系統技術 （Micro Electro-Mechanical System, MEMS）？ 是一種結合光、機、電、材、控制、物理、生醫、化學等多重技術領域之整合型與微小化系統

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