高深寬比化學濕蝕刻凸形角落補償尺寸之探討

3.5 各種補償模擬蝕刻比較 若要以非等向性濕蝕刻 得到島狀結構，必 須從光罩圖形上來進行補償。根據以上所提的光 罩補償方式，我們希望知道長條形（beam）、矩 形（rectangle）、三角形（triangle）及長帶形（band ...

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