高深寬比化學濕蝕刻凸形角落補償尺寸之探討

各種補償方式及其原理 針對以上不同的最快蝕刻 面，各研究者發 展出不同的補償方式，如圖6、圖7、圖8。 underetch 光罩 ... 3.5 各種補償模擬蝕刻比較 若要以非等向性濕蝕刻 得到島狀結構，必 須從光罩圖形上來進行補償。根據以上所提的光 罩補償方式 ...

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