近年,微機電技術在被動元件上之應用極為廣泛,以微型電感器而言主要朝著高Q值與高電感值之原件特性表現發展。本論文分別設計與製做射頻與低頻兩種平面電感器,目的為得到高電感值與高Q值之原件特性表現。其一射頻電感器主要利用微機電技術在 ...
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