高密度電漿蝕刻 - AST聚昌科技 - About

AST聚昌科技Cirie-200高密度電漿蝕刻系統,係針對2~6吋ⅢⅤ族砷化鎵MMIC、GaN藍光LED、LD、VCSEL、HBT製造廠商，提供高效能、高可靠度蝕刻製程全方位解決方案，將可支援各種介電質蝕刻、高深寬比溝渠蝕刻、金屬蝕刻及GaN、InP、DBR等化合物半導體 ...

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