高分子的世界 - 國立成功大學材料科學及工程學系

高分子光電材料(一) 光阻劑(Photoresist)與微影成像(Microlithography). 光阻劑是 一種感光性高分子材料,能經由微影成像的過程,將所設計的IC線路,經由光罩轉移至 矽 ...

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