體積無感、偵測有感—感測用的微機電元件技術與發展趨勢

2014年7月24日 ... 微機電感測元件的技術演進感測元件從早期的類比電路時代，進化到後來的搭配 ... EMS的感測元件可分成許多種類：有聲波用的像是音訊感測器(如 ...

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