風機— 濾網機組技術與無塵室氣流過濾循環節能探討 - 半導體 ...

FFU無塵室系統由於風機直接在工作區上方，因此工作區相對於回風道及天花架上氣艙 ... 圖九顯示市場上不同廠牌與尺寸FFU氣動性能實測結果的比較，不同FFU之間 ...

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