D07-16A 使用金屬止洩及類比式電路,Full Scale 最低達5 sccm,可使用於高inlet壓力氣體,可替代多數的標準型MFC。 ... AFM 10: 流量控制器適用於取代旋轉式流量計,流量控制從 2slm 至 60slm,採用黃銅製做,尺寸小及適合用於真空控制。
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