電解複合式研磨

• 不銹鋼電解拋光技術為半導體設備 重要的表面處理技術。所有的不銹鋼設備及 零組件都要經電解拋光處理(EP)以確保晶圓製程流體、氣體的潔淨度及純度。• 不銹鋼電解拋光後之表面粗度(Ra)與電解拋光前金屬表面的面粗度條件有關 ...

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