電熱式微致動器驅動微夾爪之製作分析

微致動器 的模仁製作，再以微電鑄翻模方式，完成 微致動器之結構。最後將兩微元件組合並量測其驅動位 移，結果顯示當電壓輸入0.1~3V 時， ...

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