電漿處理基本原理 ... 電漿蝕刻主要應用於清除表面污染物,具有清潔之功效;並且造成基材表面氧化、分解 .... 本研究室在過去五年研發的成果,包括:(1)電漿機台設計組裝技術之建立;(2)電漿 ...
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