電漿的基礎原理www.tool-tool.com - BW Cutting Tools - PChome 個人新聞台

在電漿蝕刻 製程中，蝕刻劑注入反應室內並於電漿中分解。自由基會擴散到介面層並且被表面所吸收。在離子轟擊的幫助下 ... 電漿的基礎原理 - 地圖日記 http://www.atlaspost.com/landmark-131437.htm#ixzz12wxql8l4 (網址連回本文 ...

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