電漿源原理與應用之介紹 - 中華民國物理學會 The Physical Society of Republic of China

尤其是包含了具能量的粒子，它們能引發許多特殊的化學與物理的反應。例如在電漿蝕刻技術中，正離子經由電漿鞘層(Plasma Sheath) ... PIII工作原理[32]：對一浸泡於電漿密度n的平面靶材而言，當脈衝負壓V起動瞬間(約幾奈秒) ...

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