電漿應用技術的新發展

電漿為放電後產生的電離狀態之氣體，裡面有電子、離子，以及不帶電的氣體原子與分子， ... 氣體雷射之外，電漿在光技術上的應用，尚有 ... 圖1 電漿蝕刻之原理.

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