電 機 工 程 研 究 所 碩 士 論 文 選擇性氧化複晶矽鍺形成鍺量子點及其在 金氧半浮點電容之應用

摘要 本論文中利用 中央大學微光電實驗室的化學氣相沉積系統，主要藉由 調變SiH4 與GeH4氣體流量比、反應環境溫度，得以調控複晶矽鍺薄膜中的 ...

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