雙離子束濺鍍沉積氮化矽薄性膜之微結構與電性研究 - 國立屏東科技大學

經由穿透式電子顯微鏡觀察鍍膜微結構，可以發現離子鍍著之氮化矽薄膜為奈米級 結晶態α-Si3N4 相與非晶態 ... 於氮化矽陶瓷低比重、低熱膨脹係數、高硬度，化學上.

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