關於DC BIAS本人不是很瞭解，請指教 - Etching&Clean - 半導體技術天地 晶片,集成電路,設計,版圖,製造,工藝,製程 ...

我想知道 DC BIAS在腐蝕腔體中是從哪一部分到哪的偏壓？是等離子體到矽片錶面嗎？為 什麼多晶腐蝕，金屬腐蝕時 ...

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