關於半導體蝕刻製程的問題- Yahoo!奇摩知識+

其中又可分為對遮罩物質的選擇比及對待蝕刻物質下層物質的選擇比。負載效應就是當被蝕刻材質裸露在反應氣體電漿或溶液時，面積較大者蝕刻速率較面積較小者為 ...

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