關於半導體蝕刻製程的問題 - Yahoo!奇摩知識+

負載效應就是當被 蝕刻 材質裸露在反應氣體電漿或溶液時，面積較大者 蝕刻速率較面積較小者為慢的情形。此乃由於反應物質在面積較大的區 ...

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