銅金屬與低介電常數材料與製程

43 第 七 卷 第 四 期 毫 微 米 通 訊 電阻上升問題，金屬導線的厚度 T 下降有 限，因此造成寄生電容效應影響元件操作特 性，由 (1) 式中可發現解決之途是採用低介 電常數材料，利用較低的介電常數材料來改

www.ndl.narl.org.tw