金屬真空濺鍍機

簡介 金屬真空濺鍍機MCH-9800主要用於發展與製造1M-bit、4M-bit， 與16M-bits動態隨機存取記憶體(DRAM)之8吋晶圓的多層膜 沈積 (multilayer film deposition)。 它具有全自動的操作功能，內含控制電腦可與SECS-II匹配之主機電腦連線而達到IC製程自動化的功能。

pemclab.cn.nctu.edu.tw