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研發推廣 整理版 研發推廣 計劃成果 1.低表面能PVD含鉻鍍膜製程開發 (1)鍍膜在250*250mm尺寸內，常溫表面能≦20±5 mN/m (2)鍍膜硬度≧Hv1200±200，鍍膜厚度變異≦±0.1t。概要說明 1.完成含鉻鍍膜退鍍製程技術研究，以電解法藉由控制電壓(

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