逢甲大學自動控制工程學系碩士班碩士論文 - 逢甲大學學位 ...

於分析複線切割機切割晶圓時切割線的自由振動。首先推導出鑽石複線切割機弦. 線之雙曲線偏微分振動方程式，並以特徵法解雙 ..... 圖2.1 內圓鋸片鋸切原理圖[21] .

ethesys.lib.fcu.edu.tw