於分析複線切割機切割晶圓時切割線的自由振動。首先推導出鑽石複線切割機弦. 線 之雙曲線偏微分振動方程式,並以特徵法解雙 ..... 圖2.1 內圓鋸片鋸切原理圖[21] .
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