逢甲大學自動控制工程學系專題報告高解析度光學尺的位移量測A ...

本專題是利用光學尺來量測X-Y Table 上的高解析度位置。透過光學尺，. 將X-Y Table 直線的位移轉成兩組 ...

www.auto.fcu.edu.tw