逢 甲 大 學 材料與製造工程 機械工程組碩士班 碩士論文

微負載效應 (Microloading Effect) 。 關鍵詞：半導體製程，蝕刻製程，二氧化矽，硬式遮蔽層。學位論文題目: 利用二氧化矽做為硬式遮蔽層對80 奈米蝕刻製程的影響 III ...

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