超純水（UPW） - Home - Levitronix. Better Pumps for Better Yield.

製造微電子元件需要大量高品質去離子水（DI水）或超純水（UPW）。這些水主要用於晶圓清洗液和用於沖洗。 超純水品質取決於其潔淨度，顆粒等，污染物對製程過程產生極大影響並且直接關係到產品良率。

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