請問無塵室的等級分為哪幾種？ - Yahoo!奇摩知識+

三、無塵室等級定義 無塵室的等級 使用者在開無塵室的等級給供應商時，有以下幾個小技巧。首先是等級定義的模式如下： Class X (at Y μm ) 其中 X 是無塵室的等級，例如 100 或 10000 等等，Y是粒徑如 0.2 μ m , 0.5 μ m 等，可複選。

tw.knowledge.yahoo.com