請問有關純水的等級..區分..和單位.. - Yahoo!奇摩知識+

--> UPW 水槽 --> ( uv燈 --> 樹脂塔 --> ultra filter --> 熱交換器 )循環淨化殺菌再回流UPW水槽 超純水 水質需求 導電度 ≧18MΩ-cm at 25 (接近水之理論值18.2了) 顆粒雜質 ＜1pc/ml (at ＞0.2μm) 大腸桿菌 ＜10個 / 0.1L SiO2＜10μg/l ...

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