《評論》冷凍泵cryo pump - Yahoo!奇摩知識+

cryo pump是利用低溫吸附.凝結氣體分子，來達到高真空的吸附式pump。利用氦氣(Helium,惰性氣體,沸點-268.9度)造成2段極低溫的接觸面1st 80k,2nd 15k(0K=-273度，又稱為絕對零度,凱式溫標,Kelvin Scale, K),在Vacuum Side使用80k & 15k Array,冷凝凝結 ...

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