蝕刻製程可分為溼式和乾式蝕刻兩類。溼式蝕刻又稱化學蝕刻,主要是以化學溶液化學來進行反應以達到蝕刻的效果﹔乾式蝕刻則以鈍態或反應性氣體來進行蝕刻,其間夾雜化學反應與物理方式的離子撞擊效果。
oaunix.hlhs.hlc.edu.tw