蝕刻工程的問題 - Yahoo!奇摩知識+

蝕刻是半導體或TFT-LCD的重要製程, 請問簡單的蝕刻原理? ... 在一般形成導體圖案的製程中，通常會先於基底上依序形成一層氧化矽層與一層導體層(複晶矽或其他金屬材料如鋁等)後，再於此導體層上形成一圖案化光阻層。

ri.search.yahoo.com