到了近代,現在的蝕刻應用在半導體的製程上,透過黃光製成來定義出想要的圖形,利用蝕刻來得到。 半導體的蝕刻可分為乾式蝕刻與溼式蝕刻。 乾式蝕刻:透過電漿的解離,形成離子與物質表面進行化學反應,或是物理轟擊,屬於非等向性的蝕刻 ...
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