藍寶石基板加工製程 - 鑫晶鑽科技股份有限公司(AcTc

清洗. 拋光後的晶圓，經過Brush及濕式化學洗淨法(wet chemical cleaning)清除表面 的污染源，再予以旋乾之後，即進入最後的檢驗階段。

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