薄膜製程與實務

薄膜製程與實務 張銀祐 yinyu@mdu.edu.tw 2007/02 教學目標 薄膜技術應用廣泛涉及多門學科領域，本課程將薄膜的應用與製作薄膜所用到的真空技術、熱力、電漿科技皆有所涵蓋。 本課程將引導學員認識真空、電漿、成膜機制，製作高品質薄膜的要件，薄膜 ...

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