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薄膜製程真空濺鍍

2010年5月25日 - 真空濺鍍」是一種於基材上沉積薄膜的真空技術,其原理是在真空腔體內 ... 台中精機薄膜製程中心已成功發展出多種高真空磁控濺鍍機,已應用於各 ...

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