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薄膜製程 - DIGITIMES

薄膜製程為半導體的製程技術,和厚膜製程的主要差異在於,使用光罩投影(Photo Lithography)、黃光蝕刻將所須圖案蝕刻在基板上,取代厚膜的油墨印刷方式,在精密度上可以做到更高,由於使用的是半導體設備,比起厚膜的技術

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