薄膜測厚儀

NanoSpec 3000 使用手冊 南區微奈米中心編製 儀器功能介紹 1. 量測透明膜或半透明膜厚，期範圍為100Å～30μ 2. 反射光譜400nm～800nm 3. 膜厚量測資料分析 量測原理簡介 儀器設備 圖（一）設備圖說 操作順序

140.116.176.21