薄膜成長的過程 - 電腦教室教學用網站

薄膜成長的過程 薄膜成長的過程 常用的薄膜製程 物理方法－濺鍍(Sputtering) 化學方法－化學氣相沈積(CVD) CVD：Chemical Vapor Deposition 濺鍍系統 濺鍍製程原理 Ar氣體原子的解離 Ar Ar+ ＋ e－ 2. 電子被加速至陽極，途中產生新的解離。

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