薄膜之殘留應力分析 - 國研院儀科中心

牛頓環法 本法是利用基板在真空鍍膜後，薄膜產生的彎曲面與一參考平面，產生干涉條紋的牛頓環，利用量測到的牛頓環間距與條紋數，推算基板的曲率半徑 R，其中 R 與牛頓環直徑之平方差成正比，並與波長的 4 倍、牛頓環條紋數的差成反比，將所求得 ...

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