薄膜 材料是指厚度介於單原子到幾毫米間的薄金屬或有機物層。電子半導體 ... 原理 在高真空的容器中、將欲沉積的材料加熱直至汽化 升華、並使此氣體附著於放置在附近的基板表面上、形成一層薄膜。依沉積材料、基板的種類可分為:抵抗加熱 ...
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