蒸鍍 - 維基百科，自由的百科全書

蒸鍍(deposition），將 金屬 和酸化物等 蒸發 ，使其於素材的表面附著形成一層薄膜的一種方法。蒸鍍可大略分為 物理蒸鍍 （PVD）與 化學蒸鍍 (CVD)兩種。 接下來以PVD的一種真空蒸鍍來說明。 半導體器件製造 有機金屬化學氣相沉積法 電漿製程 取自「 http ...

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