而EUV則遲遲未能參與此一盛晏。“EUV趕不及參與10nm節點設計規則的定義,”Sivakumar 說。Sivakumar表示,若生產工具順利在2012年下半年交貨,那麼,EUV技術仍然很可能被應用在該公司的10nm節點。但即便如此,EUV技術的進度仍然落後 ...
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