奈米通訊。第七卷第一期 13.電鍍銅製程之廢液處理

一般而言，電鍍銅製程中共有二種廢液的產生：一種為電鍍槽內的硫酸銅耗液，另一種為晶圓清洗後的洗滌水。 ... 其中廢液的銅含量範圍在6500與17000 mg/L之間。另在離子交換的過程中，pH值會稍微降低，因樹脂中的H+ 離子會被置換到處理液中所造成 ...

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