自動化、 真空儀器儀錶在半導體製造、 生命科學及其他行業。| Brooks Automation

Vision load port 模組是 Brooks 生產的最新世代加載機模組。此為一兼具智能與彈性的原廠介面模組，適用於 300mm 與 450 mm 工具自動化。 不像 LPMs 般需要大量導入時間進行設定與整合，Vision load port 是專為互通性最大化、可交換性完美化，以及設定簡易而 ...

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