工業界常利用電漿來提昇產品材料表面的功能、質感與良率,而常壓電漿不需在真空 環境下即可處理各種 ... 脈衝式常壓電漿供應系統,具有較低表面電荷累積與較高 製程再現性,藉由脈衝參數的調整, ... 第二章電漿的基本原理4 ... 脈衝式的工作模式 26
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